[配套]中集安瑞科成功交付全国首台磷烷与氢气混合气管束式集装箱

在半导体制备工艺中，需要经常采用一定浓度的磷烷和氢气混合气体（属于电子气体的一种），目前市面上这类气体储运主要采用高纯度高压气瓶（Y-ton气瓶）、小气瓶，而此次交付的管束式集装箱可储气13m³，单次运输的储气量等同于200个小气瓶的储气量，大幅降低气体公司的运营成本，满足半导体行业大量用气的需求。

同时，由于磷烷与氢气的混合气极易燃烧、具有强毒性，该装备在设计上做到“零泄露”，在管路与阀门之间完全采用轨道焊接，极大地提高了产品的安全性。